工业臭氧发生器的消毒不需要其他辅助材料。消毒进行时臭氧发生装置产生一定量的臭氧，臭氧在相对密封的环境下，扩散均匀，包容性、通透性好，克服了紫外线灯管杀菌存在的消毒死角问题，达到全方位、快速的消毒杀菌目的。另外，由于它的灭菌性能好，可以杀灭细菌繁殖体、芽胞、病毒、真菌和原虫孢体等多种微生物，同时还具有很强的除霉、腥、臭等异味的功能。

臭氧在环境中可自然分解为氧，这是臭氧作为消毒灭菌剂的优点。臭氧利用空气中的氧气产生的，工业臭氧发生器所产生的臭氧在，消毒氧化过程中，多余的氧原子（O）在完成消毒后又结合成为分子氧（O2），不存在任何残留物质，解决了消毒剂消毒时，残留物的二次污染问题，同时省去了消毒结束后需要再次清洁的麻烦。

工业臭氧发生器一般安装在加工车间外或通风系统、空气净化系统中，或者是灭菌设备中（如臭氧消毒灭菌柜、传递窗等）。可根据灭菌所需浓度及时间，设置工业臭氧发生器的消毒定时控制，操作使用方便。

工业臭氧发生器消毒灭菌在诸多行业中的应用，以食品加工行业使用及运行比较多，臭氧消毒方法与其他方法相比具有很大的经济效益。

臭氧还被用在食品加工中的多个工序：

1.食品生产车间空气杀菌消毒。生产车间的微生物污染是影响食品质量的重要因素，臭氧不但可以有效地杀灭这些微生物，还可有效去除车间异味。使用臭氧消毒，能使生产车间的空气、地面、操作台、设备、器具等物体表面的细菌等微生物指标合格，而且可显著减少食品加工车间的异味。

2.更衣室和工作服消毒。许多微生物会随生产人员的工作服进入生产车间，严重时会导致大面积传播，污染生产环境。不少食品加工企业采用紫外线照射消毒，但紫外线的照射距离有限、消毒效果较差。而臭氧气体可渗透到工作车间的各个部位，利用臭氧对工作服进行杀菌消毒，是一种高效、简单的方法。

3.生产用水的杀菌净化。臭氧对水中的细菌、病毒等微生物的杀灭率高、速度快，且可去除水中有机化合物等污染物质，又不产生二次污染。这对食品加工用水的安全性十分重要。

4.制备高浓度的臭氧水，作为新型消毒剂。将高浓度的臭氧溶解于水中制成的臭氧水，可对食品车间的生产设备、工器具、包装材料、地面、操作台等进行杀菌消毒。